İdeal dağlama işlemi özellikleri

İdeal dağlama işlemi, yarı iletken üretim ve diğer mikro nano işleme alanlarının yüksek hassasiyet gereksinimlerini karşılamak için aşağıdaki temel özelliklere sahip olmalıdır:

① Anizotropik aşındırma, yani sadece yanal delme olmadan dikey aşındırma anlamına gelir . Sadece bu şekilde kazınmış filmdeki dirençle aynı geometrik şekillerin kesin çoğaltılmasını sağlayabiliriz;
② İyi kazınma seçiciliği, maske olarak kullanılan direncin dağlama oranının ve altta yatan ince film veya malzemenin kazınma işlemi sırasında direnç maskelemesinin etkinliğini sağlamak ve daha fazla aşınma nedeniyle ince filmin altındaki diğer malzemelere zarar vermeyi önlemek için kazınmış ince filminkinden çok daha düşük olduğu anlamına gelir;
③ Büyük işleme partileri, kolay kontrol, düşük maliyet, minimal çevre kirliliği, endüstriyel üretim için uygun .